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第391章 研究高精度光刻机（第3页）

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遵旨就是一个字“拖”，拖到他放弃。

随着时间的发酵，假肢技术先是传到邻国，慢慢传向西方发达国家。

不过这些发达国家根本没有当回事，以为东方大国这次又是放卫星。

这种技术，他们很多实验室都在研究，目前还处于理论阶段。

东方大国却说已经运用于实际，他们怎么可能相信。

所以，这件事暂时没有引起这些大国的关注，只是作为茶余饭后的笑谈。

目前只有腿部假肢，上肢的假肢还没有推出产品。

不过已经得到大量的反馈，阎解放汇报给李元，李元不得不面对。

他把这个任务交给女娲1号，让她依据现有下肢假肢推导出上肢假肢。

安排好一切，再次把精力放到了西楼。

过去停下的工作，他需要带着大家重新搞起来。

重点项目便是光刻机，这个将决定蛇口的三期工程。

同时也是向国家展示实验室实力的最有效、最快速的手段。

目前牵头之人是龚师兄，刘杨负责刻蚀机和材料，艾老师负责封测。

随着激光技术的成熟，光刻机的精度可以直接进入微米级，最低设计指标是1微米，最高期望指标是达到480纳米。

设计思路李元已经反复确认多次，接下来就需要他们解决实际的问题，并做出成品。

与老版最大的区别便是，EdA软件把设计图纸直接导入光刻机，然后由光刻机来制作掩膜板。

如此，才能形成设计闭环。

过去的掩膜板国内一直使用的合金铜，现在是在石英玻璃基板上进行图形转移。

由于石英玻璃的化学性能稳定、光学透过率高、热膨胀系数低，所以，后世很长时间一直采用。

制作过程和芯片过程类似，都是图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。

这些过去大家都较为熟悉，都是成熟的技术。

唯一的不同便是使用的涂料不同。

李元把所有的资料丢给了龚师兄，他再次回到东楼办公室，开始测试飞控系统。

再有一个月，便要几方联调，他需要为各种情景准备预案，避免到时手忙脚乱，耽误项目进度。