创客小说网

手机浏览器扫描二维码访问

第271章 国产通信芯片量产筹备（第2页）

“28。7%”

的红色数字，手中的镊子在显微镜载物台上划出刺耳的声响。“第三批次的光刻胶又出现龟裂，”

老陈敲了敲刚从北京电子所送来的芯片设计图，10

微米的晶体管线条在台灯下模糊不清，“我们的光刻机比设计要求慢了

0。3

秒，相当于在米粒上刻字时手抖了一下。”

他面前的搪瓷缸里，隔夜的大麦茶结着油花，与墙上

“苦战百日实现芯片量产”

的红色横幅形成沉默的对峙。

一、光刻间的微米级突围

根据《1965

年国产芯片量产筹备档案》（档案编号

xj-lc-1965-12-01），老陈团队首先遭遇

“光刻精度不足”

难题。在显微镜下，他们发现

“红旗

-

3

型”

光刻机的丝杆传动存在

0。5

微米的周期性误差，导致晶体管栅极线条出现锯齿状畸变。“就像用生锈的刻刀雕花，”

老陈用细砂纸打磨丝杆表面，金属粉末落在他的工作鞋上，“得让每个机械部件都经得起显微镜的审视。”

12

月

10

日，首次光刻工艺调试在恒温间展开。老陈带着三名技工组成

“精度攻坚组”，用千分表校准光刻机的每一个导轨接缝，发现当室温波动超过

1c，丝杆热膨胀会导致

1

微米的位移。他们借鉴钟表厂的恒温技术，在光刻间加装煤炉暖气，用老式水银温度计实时监控，将室温控制在

20±0。5c，这个源自传统手工业的精细操作，让丝杆误差降至

0。2

微米。