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第271章 国产通信芯片量产筹备（第3页）
二、显影池的化学反应战
在解决
“光刻胶显影不均”
问题时，团队发现国产光刻胶的感光灵敏度比设计值低
15%。小李在显影池边连续观察
20
个批次，发现显影液的搅拌速度与胶膜溶解率呈非线性相关。“就像熬中药讲究火候，”
他用玻璃棒手动搅拌显影液，记录下每分钟
20
圈的最佳转速，“太快冲掉胶膜，太慢留残胶。”
这个手工得出的参数，后来成为《光刻胶显影操作规程》的核心条款。
老陈则盯上了显影液的温度控制。他发现当液温从
25c升至
28c，显影后的线条宽度会增加
1
微米，立即带领工人改造冷却系统，用自行车内胎制作循环水袋，将液温波动控制在
±0。3c，而他的工作服上，永远留着水袋渗漏的淡蓝色显影液痕迹。
三、扩散炉的温度迷宫
12
月
15
日，扩散工艺的杂质浓度不均问题导致晶体管阈值电压偏差超过
20%。老陈爬进刚降温的扩散炉，用粉笔标记炉管内壁的温度分布，发现加热丝的排列导致轴向温差达
5c。“就像冬天烤火，离炉口近的地方烫手，远的地方冰凉，”
他带领钳工重新排布加热丝，将炉管分为
5
个温控区，每个区用热电偶独立测温，这个创新让轴向温差降至
1c。
在调试磷扩散工艺时，小李发现杂质源的舟皿摆放角度影响扩散均匀性。他借鉴农村灶台的通风原理，将舟皿倾角从水平改为
15
度，使气体流速均匀性提升
40%，而他的记录本上，画满了不同角度的气流模拟图，页脚写着：“连灶台都讲究风路，扩散炉更得让杂质‘走正道’。”
四、封装间的引线暗战
12
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